1 總 則
1.0.1 潔凈廠房設計必須做到技術先進、經濟適用、安全可靠、確保質量，并應符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。
1.0.3 潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。
1.0.4 潔凈廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現行的有關強制性國家標準、規(guī)范的規(guī)定。
2 術 語
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產及滯留粒子?？臻g內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 clean booth
可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在 0.1～5 m 的固體和液體粒子。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當量直徑小于 0.1um 的粒子。
2.0.9 微粒子 macroparticle
具有當量直徑大于 5um 的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air pattern
對室內空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內離地面高度 0.8～1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業(yè)主及供應商同意的狀態(tài)運行，但無生產人員。
2.0.27 動態(tài) operational
設施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。
2.0.28 檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。
2.0.29 高效空氣過濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter)
在額定風量下，對粒徑大于等于 0.3um 粒子的捕集效率在 99.9%以上及氣流阻力在 250Pa 以下的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter)
在額定風量下，對粒徑 0.1～0.2um 粒子的捕集效率在 99.999%以上及氣流阻力在 280Pa 以下的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
對電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均有要求的水。
2.0.31 純水 purity water
對電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。其量綱為 Ω/□。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
在材料內層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。其量綱為 Ω· cm。
2.0.37 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內潔凈度等級的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable particles
潔凈室懸浮在空氣中的菌落。
2.0.41 沉降菌 colony forming unit
潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落。
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